i-line projection stepper
French translation: Projecteur pas à pas de type “i-line
| GLOSSARY ENTRY (DERIVED FROM QUESTION BELOW) | ||||||
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| 13:13 May 16, 2002 |
| English to French translations [Non-PRO] Science | ||||
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|  Selected response from: bobdelbart Local time: 23:34 | |||
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| 4 | Projecteur pas à pas de type “i-line" |
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Projecteur pas à pas de type “i-line" Explanation: Je me lance... stepper = moteur pas a pas. Je pense qu'il s'agit d'un appareil projetant une fine couche de protecteur anit-UV sur une surface, agissant sur le principe de la photolithographie de type "i-line" (cf. ci-dessous). Bon courage. --------------- Un système de photolithographie réunit plusieurs composants très complexes, dont une source de rayons lumineux, une lentille réductrice, des sous-systèmes d'alignement et des robots pour la manipulation du silicium. Baptisée "wafer stepper", cette machine perfectionnée procède à l'exposition des tracés des circuits sur la tranche de silicium en se déplaçant "pas à pas" d'une zone à l'autre, le processus étant répété jusqu'au moment où toute la surface de la tranche s'est couverte d'une trame dont chaque élément deviendra une puce distincte. Le premier projet ESPRIT, couvrant la période de 1988 à 1991, a abouti au développement d'un "wafer stepper" à rayons ultraviolets lointains (DUV) de 248 nanomètres. "ASML vendait déjà une bonne machine de type i-line, avec une longueur d'onde de 365 nm," explique Steve Wittekoek. "Toutefois, nous savions qu'il ne serait possible d'augmenter les résolutions qu'en adoptant des longueurs d'ondes plus courtes, et que cela nous demanderait un énorme effort de développement." Reference: http://www.cordis.lu/itt/itt-fr/97-4/case.htm |
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