English: laydownGerman translation: Abscheidung 
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| GLOSSARY ENTRY (DERIVED FROM QUESTION BELOW) | | English term or phrase: | laydown | | German translation: | Abscheidung | | Entered by: | sibsab |
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Science - Physics / Flammenhydrolyse | | English term or phrase: laydown | Glass materials such as silica-titania glasses that are used for extreme ultraviolet lithography (“EUVL”) elements have been produced by various methods. In some of these methods, for example the flame hydrolysis method, striae can occur during the **laydown process**, resulting in discrete layers of silica-titania glass that can have a variation of ±0.1 wt. % TiO2.
Oder:
Peak-to-valley values of xxx nm have been observed for SiO2 TiO2 samples produced by flame hydrolysis methods in which material was removed perpendicular to the **laydown surface**.
Habe leider nur wenig Infos zur Flammenhydrolyse gefunden, mir ist noch nicht ganz klar, was dieses "laydown" genau für ein Prozess ist. |
| | Clarification request(s) and responsesci-trans: 11:15pm Jan 15, 2008: Hinsichtlich des Verfahrens ist aus WO 01/08163 bekannt, dass Titan-dotiertes Quarzglas für die EUV-Lithografie durch ein Flammhydrolyse-Verfahren hergestellt wird, wobei eine Si-enthaltende und eine Ti-enthaltende Vorläuferverbindung
sci-trans: 11:16pm Jan 15, 2008: in einer Brennerflamme zu Ti-dotierten feinteiligen SiO2 -Partikeln, auch ***„Soot"*** genannt, umgesetzt wird, ...
http://www.wipo.int/pctdb/en/wo.jsp?WO=2005%2F114328&IA=WO20...
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| | Abscheidung | Explanation:
Zitat( Link):
In der Reaktionszone, die sich in der Nähe des Brennerkopfes befindet, werden feine SiO2-Sootpartikel durch Flammenhydrolyse in einer Sauerstoff- Wasserstoff-Flamme gebildet und auf einem Träger unter Aufbau eines porösen Sootkörpers abgeschieden, welcher anschließend gesintert wird.
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Note added at 2 hrs (2008-01-15 22:58:03 GMT)
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Ist auch nur eine von mehreren Quellen. Aber der Prozess ist klar: die Glasspartikel werden durch Hydrolyse der Einzelkomponenten in der Flamme hergestellt. Diese Partikel werden dann auf einer geeigneten Oberflaeche abgeschieden und dann weiterverabeitet (gesintert). Dadurch bekommt man Glass mit weniger Verunreinigungen.
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Note added at 2 hrs (2008-01-15 23:08:10 GMT)
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Hie rist noch ein Link, dem mam mehr glauben kann: http://www.uni-magdeburg.de/ivt/mvt/deutsch/vorlesung/VO_Par...
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Note added at 2 hrs (2008-01-15 23:08:52 GMT)
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Hier ist noch ein Link, dem man mehr glauben kann;-) (Bin etwas muede)
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Note added at 2 hrs (2008-01-15 23:09:46 GMT)
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Seite 42 der PDF Datei |
| Selected response from:
sibsab
Germany
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4 KudoZ points were awarded for this answer |
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23 mins confidence:   |
| Zerlegung
Explanation:
Mir ist bekannt, dass man bei der Hydrolyse von 'Zerlegung' bzw. 'Spaltung' spricht. Also könnte in diesem Fall der 'Zerlegungsprozess' gemeint sein, leider bin ich in diesem Bereich kein Experte, also wäre ich auch für Kommentare, ob ich richtig oder falsch liege, dankbar.
| JanaB
Germany
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