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English to German translations [PRO] Science - Physics / Flammenhydrolyse
English term or phrase:laydown
Glass materials such as silica-titania glasses that are used for extreme ultraviolet lithography (“EUVL”) elements have been produced by various methods. In some of these methods, for example the flame hydrolysis method, striae can occur during the **laydown process**, resulting in discrete layers of silica-titania glass that can have a variation of ±0.1 wt. % TiO2.
Oder:
Peak-to-valley values of xxx nm have been observed for SiO2 TiO2 samples produced by flame hydrolysis methods in which material was removed perpendicular to the **laydown surface**.
Habe leider nur wenig Infos zur Flammenhydrolyse gefunden, mir ist noch nicht ganz klar, was dieses "laydown" genau für ein Prozess ist.
Zitat( Link):
In der Reaktionszone, die sich in der Nähe des Brennerkopfes befindet, werden feine SiO2-Sootpartikel durch Flammenhydrolyse in einer Sauerstoff- Wasserstoff-Flamme gebildet und auf einem Träger unter Aufbau eines porösen Sootkörpers abgeschieden, welcher anschließend gesintert wird.
-------------------------------------------------- Note added at 2 hrs (2008-01-15 22:58:03 GMT) --------------------------------------------------
Ist auch nur eine von mehreren Quellen. Aber der Prozess ist klar: die Glasspartikel werden durch Hydrolyse der Einzelkomponenten in der Flamme hergestellt. Diese Partikel werden dann auf einer geeigneten Oberflaeche abgeschieden und dann weiterverabeitet (gesintert). Dadurch bekommt man Glass mit weniger Verunreinigungen.
-------------------------------------------------- Note added at 2 hrs (2008-01-15 23:08:10 GMT) --------------------------------------------------
Hinsichtlich des Verfahrens ist aus WO 01/08163 bekannt, dass Titan-dotiertes Quarzglas für die EUV-Lithografie durch ein Flammhydrolyse-Verfahren hergestellt wird, wobei eine Si-enthaltende und eine Ti-enthaltende Vorläuferverbindung
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Zerlegung
Explanation: Mir ist bekannt, dass man bei der Hydrolyse von 'Zerlegung' bzw. 'Spaltung' spricht. Also könnte in diesem Fall der 'Zerlegungsprozess' gemeint sein, leider bin ich in diesem Bereich kein Experte, also wäre ich auch für Kommentare, ob ich richtig oder falsch liege, dankbar.
Zitat( Link):
In der Reaktionszone, die sich in der Nähe des Brennerkopfes befindet, werden feine SiO2-Sootpartikel durch Flammenhydrolyse in einer Sauerstoff- Wasserstoff-Flamme gebildet und auf einem Träger unter Aufbau eines porösen Sootkörpers abgeschieden, welcher anschließend gesintert wird.
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Ist auch nur eine von mehreren Quellen. Aber der Prozess ist klar: die Glasspartikel werden durch Hydrolyse der Einzelkomponenten in der Flamme hergestellt. Diese Partikel werden dann auf einer geeigneten Oberflaeche abgeschieden und dann weiterverabeitet (gesintert). Dadurch bekommt man Glass mit weniger Verunreinigungen.
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sibsab Local time: 15:53 Works in field Native speaker of: German PRO pts in category: 12
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Asker: Hab ich mir auch schon gedacht (wollteaber nix vorgeben) - warum dann aber "laydown" und nicht das viel häufigere "deposit"? Einer Quelle, die "Sootpartikel" statt "Rußpartikel" schreibt, traue ich nicht unbedingt über den Weg ...
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