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barrel etcher

Portuguese translation: câmara de corrosão por plasma

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16:24 Feb 23, 2006
English to Portuguese translations [PRO]
Tech/Engineering - Electronics / Elect Eng
English term or phrase: barrel etcher
A device usually used to oxidize and thereby strip away hardened photoresist materials during semiconductor processing. In it a batch of wafers is exposed to a low-pressure oxygen plasma.
Gabriela Matias
Portugal
Local time: 15:59
Portuguese translation:câmara de corrosão por plasma
Explanation:
... Futuramente será acoplada uma segunda câmara de corrosão por plasma para remoção de fotorresiste em seguida à corrosão do alumínio. ...
www.lsi.usp.br/~bento/publicacoes.html - 38k - Resultado Adicional -

... Existem inúmeras configurações de reatores utilizados na corrosão por plasma [COO87, DOW81, KUM86, BAR90]. ... configurados no modo RIE (Reactive Ion Etcher). ...
www.giuseppecirino.com/Dissertacao_All.pdf - Resultado Adicional -

Para o estudo da etapa de corrosão por plasma do resiste espesso AR-P 322, ... To study the dry development process we used an ´O IND.2´ plasma etching step ...
dedalus.usp.br:4500/ALEPH/POR/USP/USP/PROD/FULL/1175689 - 10k -

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Note added at 3 hrs (2006-02-23 20:20:30 GMT)
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Corrosão "a" plasma também é usado, um pouco menos.
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xxxMarttim
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5 +1câmara de corrosão por plasmaxxxMarttim


  

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câmara de corrosão por plasma


Explanation:
... Futuramente será acoplada uma segunda câmara de corrosão por plasma para remoção de fotorresiste em seguida à corrosão do alumínio. ...
www.lsi.usp.br/~bento/publicacoes.html - 38k - Resultado Adicional -

... Existem inúmeras configurações de reatores utilizados na corrosão por plasma [COO87, DOW81, KUM86, BAR90]. ... configurados no modo RIE (Reactive Ion Etcher). ...
www.giuseppecirino.com/Dissertacao_All.pdf - Resultado Adicional -

Para o estudo da etapa de corrosão por plasma do resiste espesso AR-P 322, ... To study the dry development process we used an ´O IND.2´ plasma etching step ...
dedalus.usp.br:4500/ALEPH/POR/USP/USP/PROD/FULL/1175689 - 10k -

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Note added at 3 hrs (2006-02-23 20:20:30 GMT)
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Corrosão "a" plasma também é usado, um pouco menos.

xxxMarttim
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agree  Carlos Angelo: "Câmara de corrosão".
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