in-situ plasma cleaning

Russian translation: очистка с использованием разряда непосредственно в камере осаждения

GLOSSARY ENTRY (DERIVED FROM QUESTION BELOW)
English term or phrase:in-situ plasma cleaning
Russian translation:очистка с использованием разряда непосредственно в камере осаждения
Entered by: Mikhail Yanchenko

16:55 Nov 23, 2006
English to Russian translations [PRO]
Tech/Engineering - Electronics / Elect Eng
English term or phrase: in-situ plasma cleaning
О чистке осадка на стенках камеры, в которой осаждают диоксид кремния при изготовлении каких-то там деталей для электроники

Chamber cleaning is accomplished with FCs, using either an in-situ or a remote plasma cleaning step.

FC - фторуглерод
remote plasma - (насколько я поняла) послесвечение плазмы

Приведу весь отрывок:

PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (PECVD)
Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) refers to chemical vapor deposition in which a radio frequency plasma is coupled to a low-pressure gaseous reaction mixture to facilitate the formation of the desired deposit (thin film) on a substrate located in the reaction chamber. Film formation occurs at lower temperatures with plasma versus without plasma. PECVD is used to deposit silicon dioxide, silicon nitride and silicon oxynitride films. During fabrication of a 16 Mbit DRAM device PECVD is used to deposit more than 20 layers. In addition to formation of volatile by-products, which are removed by gas flow through the reaction chamber, film deposition inexpediently forms on the reaction-chamber walls, which if not routinely cleaned will diminish process performance. Chamber cleaning is accomplished with FCs, using either an * in-situ or a remote plasma cleaning * step. Cleaning is accomplished by F-atoms (which are produced through plasma-induced dissociation of the FC) reacting with the inexpeediently deposited silicon to form the gas SiF4, which is pumped from the chamber.

Спасибо.
Leila Usmanova
Local time: 06:50
с использованием разряда как непосредственно в камере осаждения, так и удаленного разряда
Explanation:
По аналогии с устройством, описанным в данном патенте:

Разложение газовой смеси происходит в плазме ВЧЕ-разряда вне камеры осаждения с последующим формированием из продуктов разложения сверхзвуковых струй, истекающих в вакуумную камеру осаждения через систему сверхзвуковых сопел, установленных в стенке камеры и расположенных друг относительно друга из условия обеспечения пересечения сверхзвуковых струй на расстоянии около 60% от расстояния между подложкой и соплами. Устройство для получения пленок аморфного кремния содержит вакуумную камеру осаждения с расположенной в ней подложкой, систему подачи газовой смеси и вытяжки продуктов реакции, а также блок генерации активной плазмы из силансодержащей смеси газа. Блок генерации активной плазмы расположен вне камеры осаждения и связан с ней через систему сопел, установленных в стенке камеры осаждения, являющейся одновременно и стенкой блока генерации активной плазмы. При этом блок генерации активной плазмы выполнен в виде электродного блока, подключенного к генератору ВЧ, и содержит разрядную камеру, соединенную через штуцер с источником силансодержащей смеси
http://www.sciteclibrary.ru/rus/izobret/spisok/i2188878.htm


--------------------------------------------------
Note added at 10 мин (2006-11-23 17:06:12 GMT)
--------------------------------------------------

Естественно, ВЧ-разряда
Selected response from:

Mikhail Yanchenko
Russian Federation
Local time: 08:50
Grading comment
Спасибо!
4 KudoZ points were awarded for this answer



Summary of answers provided
3 +1с использованием разряда как непосредственно в камере осаждения, так и удаленного разряда
Mikhail Yanchenko
3 +1плазменная чистка в составе установки или автономно
a05


  

Answers


9 mins   confidence: Answerer confidence 3/5Answerer confidence 3/5 peer agreement (net): +1
an in-situ or a remote plasma cleaning
плазменная чистка в составе установки или автономно


Explanation:
remote противопоставлено in-situ
т.е. камеру либо чистят прямо на месте, либо снимают и чистят где-то в другом месте. В том и другом случае плазмой, которая действует как сказано дальше

a05
Native speaker of: Native in RussianRussian
PRO pts in category: 4

Peer comments on this answer (and responses from the answerer)
agree  mk_lab
1 hr
Login to enter a peer comment (or grade)

9 mins   confidence: Answerer confidence 3/5Answerer confidence 3/5 peer agreement (net): +1
с использованием разряда как непосредственно в камере осаждения, так и удаленного разряда


Explanation:
По аналогии с устройством, описанным в данном патенте:

Разложение газовой смеси происходит в плазме ВЧЕ-разряда вне камеры осаждения с последующим формированием из продуктов разложения сверхзвуковых струй, истекающих в вакуумную камеру осаждения через систему сверхзвуковых сопел, установленных в стенке камеры и расположенных друг относительно друга из условия обеспечения пересечения сверхзвуковых струй на расстоянии около 60% от расстояния между подложкой и соплами. Устройство для получения пленок аморфного кремния содержит вакуумную камеру осаждения с расположенной в ней подложкой, систему подачи газовой смеси и вытяжки продуктов реакции, а также блок генерации активной плазмы из силансодержащей смеси газа. Блок генерации активной плазмы расположен вне камеры осаждения и связан с ней через систему сопел, установленных в стенке камеры осаждения, являющейся одновременно и стенкой блока генерации активной плазмы. При этом блок генерации активной плазмы выполнен в виде электродного блока, подключенного к генератору ВЧ, и содержит разрядную камеру, соединенную через штуцер с источником силансодержащей смеси
http://www.sciteclibrary.ru/rus/izobret/spisok/i2188878.htm


--------------------------------------------------
Note added at 10 мин (2006-11-23 17:06:12 GMT)
--------------------------------------------------

Естественно, ВЧ-разряда

Mikhail Yanchenko
Russian Federation
Local time: 08:50
Native speaker of: Native in RussianRussian
PRO pts in category: 28
Grading comment
Спасибо!

Peer comments on this answer (and responses from the answerer)
agree  Enote: да, мне кажется что тут плазма создается на месте или на удалении от очищаемой поверхности
2 hrs
  -> Спасибо. Мне тоже так кажется, ведь после каждого осаждения разбирать камеру - море времени уйдет и хлопот добавит. А разряд вне камеры с последующей закачкой продуктов в камеру - употребляют.
Login to enter a peer comment (or grade)



Login or register (free and only takes a few minutes) to participate in this question.

You will also have access to many other tools and opportunities designed for those who have language-related jobs (or are passionate about them). Participation is free and the site has a strict confidentiality policy.

KudoZ™ translation help

The KudoZ network provides a framework for translators and others to assist each other with translations or explanations of terms and short phrases.


See also:

Your current localization setting

English

Select a language

Term search
  • All of ProZ.com
  • Term search
  • Jobs
  • Forums
  • Multiple search