oxydation thermique rapide

Cependant avec le traitement à 750°C une contaminationfluor et oxygène a été observée, cette contamination n’est plus décelée à partir de 775°C. Unoxyde élaboré, par un procédé RTO « Rapid Thermal Oxydation», sur de telles surfaces lissesest parfaitement conforme comme le montre la (figure 2) sur laquelle les marches atomiquesenterrées sont observées[2

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Note added at 5 mins (2003-12-28 19:04:05 GMT)
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