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English to Korean: Translation of patent specification General field: Tech/Engineering
Source text - English In order to secure the position of the optical element relative to the holding device, a defined clamping force is required with which the optical element is clamped between the two components of the holding device. During acceleration of the optical element, the frictional force caused by the clamping force will resist the acceleration force acting on the optical element. In order to avoid movement of the optical element relative to the holding device, it is therefore necessary that the frictional force is always greater than or at least equal to the acceleration force. The clamping force must therefore always be kept at a sufficient level.
In order to adjust the optical element, the contact surface between the optical element and the holding device must also be as small as possible, preferably comprising a point-like or line-like contact. However, a point-like or line-like contact is disadvantageous with regard to the extent of the so-called surface pressure between the two connecting fittings. If the allowable surface pressure is exceeded, undesired stress-induced changes in the optical properties of the optical element may result.
Therefore, in order to adjust the optical element, the contact surface between the optical element and the holding device should be as small as possible, and in order to reduce the surface pressure, the contact surface should be as large as possible.
Against this background, an object of the present invention is to provide an improved optical system.
Therefore, an optical system for a lithography apparatus is roposed. The optical system has a first element, a second element, and an optical element, wherein the optical element is held between the first element and the second element in a force-fit engagement and is subjected to this purpose. A clamping force wherein at least one of the components includes a bearing portion that contacts the optical element and has a shape-memory alloy.
Translation - Korean 보유 디바이스에 연관된 광학 요소의 위치를 고정하기 위해, 보유 디바이스의 2개의 구성요소들 사이에 광학 요소를 클램핑하는 규정된 클램핑력이 요구된다. 광학 요소의 가속 중에, 클램핑력으로부터 발생하는 마찰력은 광학 요소 상에 작용하는 가속력에 대항하여 작용한다. 보유 디바이스에 관한 광학 요소의 이동을 방지하기 위해, 따라서 마찰력은 항상 가속력보다 크거나 적어도 동일해야 할 필요가 있다. 따라서, 클램핑력은 항상 충분한 레벨로 유지되어야 한다.
광학 요소를 조정하기 위해, 또한 바람직하게는 점형 또는 선형 접촉을 수반하는, 광학 요소와 보유 디바이스 사이의 접촉면은 가능한 한 작을 필요가 있다. 그러나, 점형 또는 선형 접촉은 2개의 연결 파트너 사이의 소위 표면 압력의 정도의 견지에서 바람직하지 않다. 허용 가능한 표면 압력이 초과되면, 이는 광학 요소의 광학 특성의 바람직하지 않은 응력-유도 변화를 야기할 수 있다.
따라서, 광학 요소를 조정하기 위해, 광학 요소와 보유 디바이스 사이의 접촉면이 가능한 한 작을 필요가 있고, 표면 압력을 감소시키기 위해, 접촉면이 가능한 한 커야 할 필요가 있다.
이 배경으로, 본 발명의 목적은 개량된 광학 시스템을 이용가능하게 하는 것이다.
이에 따라, 리소그래피 장치용 광학 시스템이 제안된다. 광학 시스템은 제1 구성요소, 제2 구성요소, 및 제1 구성요소와 제2 구성요소 사이에 압력 끼워맞춤 결합으로 보유되고 이 목적으로 클램핑력을 받게 되는 광학 요소를 갖고, 구성요소들 중 적어도 하나는 광학 요소에 접촉하고 형상 기억 합금을 갖는 지지부를 포함한다.
Japanese to Korean: 特許明細書の日翻訳文 General field: Tech/Engineering
Source text - Japanese [請求項4]
粒径が、全体として５ｍｍ未満であり、かつ、粒径が６００μｍ未満であるものの質量割合が、全質量に対して６０％以上である、請求項１～３の何れか一項に記載の肥料原料用製鋼スラグ。
[請求項5]
請求項１～４の何れか１項に記載の肥料原料用製鋼スラグの製造方法であって、
転炉型鍋に対し、（炉口から溶銑液面までの長さに対応するフリーボード／炉口から炉内底までの長さに対応する炉内高）で表される空隙比率が０．５以上０．９以下となるように、高炉溶銑を注入し、
前記転炉型鍋中の前記高炉溶銑に対して、マンガン鉱石、マンガン含有脱炭スラグ、及び、フェロマンガンの少なくとも何れかを添加し、
粒径が３０ｍｍ以下の生石灰、及び／又は、炭酸カルシウムを前記高炉溶銑に加えた上で、前記高炉溶銑内に挿入したランスから、前記高炉溶銑に対して酸素を吹き込み、
１３００℃以上１４００℃以下でスラグをフォーミングさせて脱リン処理を行い、
（ＣａＯ含有量／ＳｉＯ ２含有量）で表されるスラグ塩基度が、１．５超過２．２以下となり、かつ、スラグ中のＭｎＯ含有量が３質量％以上１０質量％以下となるように製造する、肥料原料用製鋼スラグの製造方法。
Translation - Korean 【청구항 4】
제1항 또는 제2항에 있어서,
입경이 전체로서 5㎜ 미만이고, 또한 입경이 600㎛ 미만인 것의 질량 비율이 전체 질량에 대하여 60% 이상인, 비료 원료용 제강 슬래그.
【청구항 5】
제1항에 기재된 비료 원료용 제강 슬래그의 제조 방법이며,
전로형 포트에 대하여, (노구로부터 용선 액면까지의 길이에 대응하는 프리보드/노구로부터 노내 바닥까지의 길이에 대응하는 노내 높이)로 표시되는 공극 비율이 0.5 이상0.9 이하로 되도록 고로 용선을 주입하고,
상기 전로형 포트 중의 상기 고로 용선에 대하여 망간 광석, 망간 함유 탈탄 슬래그 및 페로망간 중 적어도 어느 것을 첨가하고,
입경이 30㎜ 이하인 생석회 및/또는 탄산칼슘을 상기 고로 용선에 첨가한 후에, 상기 고로 용선 내에 삽입한 랜스로부터 상기 고로 용선에 대하여 산소를 취입하고,
1300℃ 이상 1400℃ 이하에서 슬래그를 포밍시켜 탈인 처리를 행하고,
(CaO 함유량/SiO2 함유량)으로 표시되는 슬래그 염기도가 1.5 초과 2.2 이하로 되고,
또한 슬래그 중의 MnO 함유량이 3질량% 이상 10질량% 이하로 되도록 제조하는, 비료 원료용 제강 슬래그의 제조 방법.
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Years of experience: 5. Registered at ProZ.com: Aug 2022.
I am native Korean speaker, and learned English and Japanese for a long time - over 20 years for English, and 6 years for Japanese. And then i got a career as a patent staff in Korea's best known law firm. There i did translation work to make English/Japanese patent specifications into Korean. Every single case has its deadline, so working as a patent staff strengthened my time management skills, most necessary ability as a professional translator, obviously. And also, i learned how to manage kinds of confidential documents.
I studied mechanical engineering in university, so my specialist area lies in engineering. In addition, i spent years studying patent law and international law when i worked there, which means i have specialization in legal area, too. And i usually spend my free time in reading science articles(because biology and chemisty are my favorite subjects when i was in high school) written in English, it was quite helpful when i did translation work in law firm.
Finally, i have great interest in international politics and history. I spent recent 2 years to prepare Korean diplomat exam, and this exam includes international politics and diplomacy history subjects. So, i have no problem dealing with political, and historical contents. Plus, cosmetics, fashion and sports - because i always try to become a trendy person!
Keywords: English, Japanese, Korean, engineering, science, patent, international law
Expertise