Feb 23, 2006 16:24
18 yrs ago
English term

barrel etcher

English to Portuguese Tech/Engineering Electronics / Elect Eng
A device usually used to oxidize and thereby strip away hardened photoresist materials during semiconductor processing. In it a batch of wafers is exposed to a low-pressure oxygen plasma.
Proposed translations (Portuguese)
5 +1 câmara de corrosão por plasma

Proposed translations

+1
3 hrs
Selected

câmara de corrosão por plasma

... Futuramente será acoplada uma segunda câmara de corrosão por plasma para remoção de fotorresiste em seguida à corrosão do alumínio. ...
www.lsi.usp.br/~bento/publicacoes.html - 38k - Resultado Adicional -

... Existem inúmeras configurações de reatores utilizados na corrosão por plasma [COO87, DOW81, KUM86, BAR90]. ... configurados no modo RIE (Reactive Ion Etcher). ...
www.giuseppecirino.com/Dissertacao_All.pdf - Resultado Adicional -

Para o estudo da etapa de corrosão por plasma do resiste espesso AR-P 322, ... To study the dry development process we used an ´O IND.2´ plasma etching step ...
dedalus.usp.br:4500/ALEPH/POR/USP/USP/PROD/FULL/1175689 - 10k -

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Note added at 3 hrs (2006-02-23 20:20:30 GMT)
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Corrosão "a" plasma também é usado, um pouco menos.
Peer comment(s):

agree Carlos Angelo : "Câmara de corrosão".
1 day 20 hrs
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