Spannung (elektrisch) = tension

Sehr unsicher, aber vermutlich ist hier eine elektrische Spannung gemeint.

Vgl. z. B. http://www.patentstorm.us/applications/20080297876/descripti... (Text zu Fig. 1 und Fig. 5)

Ein Einzelpunktsensor wird nachstehend beispielhaft näher erläutert.

means:-

An exemplary point sensor is explained in more details in the following.

Es wird ein Spannungssignal generiert, das abhängig von der Position des Fokalbereiches relativ zum Substrat bzw. dem Soll-Ankerpunkt ist.

means:-

A voltage signal is generated, which is dependent on the position of the focal distance with respect to the substrate or the targeted anchor point.

Dieses sollte beim Treffen des Ankerpunktes mit dem Fokus ein bestimmtes Niveau erreichen, vorzugsweise ein Maximum.

means:-


This should reach a certain level when the anchor point meets (coincides with) the focus.

and finally

Dies kann z.B. durch die Methode des Rückreflexes im Strahlengang bewerkstelligt werden, wie aus Fig. 12 ersichtlich.

means:-

For example, this may be accomplished by the method of back reflection in the optical path, as seen in Fig. 12.