Метод обратной литографии

Этот метод используется для трафаретного нанесения тонких пленок из благородных металлов. Сначала на подложку наносится тонкий слой из вспомогательного материала (к примеру, оксида кремния). Сверху него по шаблону наносится слой резиста (рис. 18.16А), облучаемый УФ светом. После чего применяется жидкостное травление для подтравливания слоя под резистом (рис. 18.16Б). Далее на подложку через отверстие в резисте методом напыления наносится слой металла (рис. 18.16В). После чего удаляются слои резиста и вспомогательного материала, и остается только подложка с нанесенным слоем металла (рис. 18.16 Г и Д).
http://datchikisensor.narod.ru/0140.html